?????????????????BAW????????????
????????????????????????????????????????????????????????????С????????????????????????????????????????????????????????????????????????Щ???????????????????????????????????????????????
???????????????????ù??????????????????????BAW??г????????????Щ?????????????100????????????????С???????????????????????????壬???????????????????????????????????????·?????У?TI????????TI?????????г???????????????????MCU??SimpleLink CC2652RB??????????????о??С?
??????????BAW?????????????????????TI????????LMK05318???????????????????????????????????400 Gbps??·?????
TI?????????????????????Ray Upton????????????????????????????????????????????????????????????????? TI????????????????Kim Wong??????ü?????????????????豸???????????????????????????????????????????
????????BAW??????????????????????????????????????????????????????????С???硱??Wong???????
BAW-??LC-QVCO??о???????
TI??BAWг?????????ж????
IDC?????????????????о????Philip Solis????????BAWг???????????????????TI??????伯??????о?????У???????????????????????????????????
????Solis????????BAWг?????????????????????????????????????????????侫?? - ???????????? - ??????????仯????????????????仯???????????
????BAW????????
???????????????????????????????????????????????????????????????????????BAWг???????ù??????????????TI?????????????
??????????????????塣 ??????????????????????????????????????????????BAWг?????????????????????PCB???????????????TI???????????????????
?????????????????????????BAWг????????????Upton????????????????????TI???о?MEMS?????????????????????????????????е????????????????????????????????????????
?????BAWг???????????????????????????绰???????????е???????????TI??ν???????????????????????????????TI ?????BAW????????????????????BAW?????????????
Bulk Acoustic Wave(BAW) filter
BAW filter??????????BAW filter???С?????????????????BAW filter?ж????仯?????У????????С???????????(steep filter skirts)?????
??????BAW filter????????????BAW??bulk?????????????
BAW filter????????????????????缫??????籡?(Quartz substrate??2GHz?????2um)??????????籡??????γ????(standing wave)??
??????????????籡???????????????????????????????????????Сloss?????Q????????????????????~5000m/s??????????????????迹??????????105????????99.995%???????????????????????紦?????????????????(incident wave)????γ?????????????????棬????????????迹?????????(????Si)????????????????????deposit(????)??Si??????
????????????????·??γ?Bragg reflector???????????????????档Reflector??ü?????????迹????????????????????迹????????????迹С?????????????迹????????????????????/4???????????????????????????????????????Ч?????????????????????????????????????????BAW-SMR(Solidly Mounted Resonator)?????????
????????????FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator), ????Membrane type??Airgap type??
Membrane Type???substrate????etch??????(?????bottom electrode??)???γ?????????(thin film)?????(cavity)??
Membrane type??????BAW resonator????????????涼?????????????????????迹???????????????迹?????????????????????????????????????????????????????в?????????BAW-SMR??membrane type ??????????????substrate?????????????
Airgap type?????????????????????????(sacrificial support layer)????????????????????????·??γ?air gap??
?????????????????substrate????????????????????????????????membrane type???????????????????????
BAW filter????
BAW filter???????resonator???????????????BAW filter?ж????????????ladder type filter??lattice type filter??stacked crystal filter??coupled resonator filter????????????ladder type??lattice type??
Ladder type(SAW???????)????resonator????????????????????????resonator???????????resonator??????stage??????ladder type filter??????ü???stage??ɡ?
???ladder type filter???????????????????BAW resonator????????????????
???????????????(a)??????????缫?м?????????????mBVD??Ч??·?????(b)????????迹?????(c)???????????????resonance????????(fs)?????(fp)????????????????
??????(pass band)???series resonator fs?迹??С?????????????shunt resonator fp?迹??????????????
Lattice filter??????stage??4??resonator??????2????????2??????????????????????
Ladder type???????????(single-ended/unbalanced)????(balanced)????????lattice type???????????(balanced)??????
BAW filter???????????
??(quartz)?????????????????????????????????±??????????????????к?????????????????deposit??Si???????????BAW?????????high electromechanical coupling coefficient??low electromechanical loss??high thermal stability?????????IC?????????
???????BAW????????AlN(aluminum nitride)??PZT(lead zirconate titanate)??ZnO(zinc oxide)??
?????(wave)
????????????????????????????(electromagnetic wave)?????????????κ???飬??????????????????????????糡???????????????????????????????????????????????粨(radio wave)?????(microwave)???????X??????????????????????
??????????е??(mechanical wave)????????(???壬????????)?????????????????????Ρ???????????????д??????????????????Χ???????????????в?????????
??е?????????????wave motion; longitudinal(compressive) wave(???)??transverse wave(??)??
Longitudinal(compressive) wave(???)
??????У????????????????????????????е????????????????????????????????????????????????????????????
Transverse wave(??)
????У?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????
??????BAW- SMR??FBAR filter??У????????????(longitudinal)???????????????????????????????????е????в?????????????(transverse)?????????
??????SAW?????Rayleighsurface wave???????????к???????????????????????????????????????棬?????????????????????????С??
???SAW filter, ??????BAW filter?????????(??????)??BAW filter????BAW - SMR??FBAR(membrane type??airgap type)??
BAW filter???????2.5GHz?????????BAW filter???????????????????е?IC?????????????????active??·???????integration??
?????????????????????????MCU
TI??η??????????а?????????????????????????????MCU????????????????????TI BAWг????????????????????MCU?????????С????????????????????????????????????????????????У?????????????壬?????????????е????
TI??????????????????????Ray Upton?????????????ò??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????豸????????????????????????????????????
??2022?????????????????????2018???1510???????????????1.2?????????[i]?????????????????????????????????????????????????????????????90%???????????????????????????????
Ray Upton?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????
TI?????????? BAW???????????SimpleLink???????MCU???????????????????豸?У????????????????????Zigbee®??????????????????????????????????????
?????????????????TI BAW???????????????????????????
TI??????????????????BAW???????????????????????????????????????????????????Щ??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????5G??????????????????????
TI????ü???????????????????????Kim Wong???????δ???????????????????????????????????г???????豸??????????TI BAWг???????????????豸?У???????????????????????????????????????????ж??????????????????????????????????
???????????????
TI BAW??????????????????·???????????Ч????????????????г??????BAW?????ег???????????????????????????????????????????????ο???
????TI BAW?????????????????????????????
??С???硣??????о?????У???·???????????·?????????????????????
??????????????????????????????????????????????????TI BAW??????????????????????????100????
??С????????????TI?????????о???????????????????г???????????????豸??
??????????TI BAWг???????????????ο?????????????Gb??????????????????????????????????????RF??о?????????о?????????????
???????
????5G?????????????????????????????????????????????????????????????
????????????????λ??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????豸???
Ray Upton????????????????????????????TI BAWг????????????????????????????????????·????
????ls ?????????2023-03-27
